X射线光电子能谱仪测试
适用领域
XPS被广泛应用于分析无机化合物、合金、半导体、聚合物、元素、催化剂、玻璃、陶瓷、染料、纸、墨水、木材、化妆品、牙齿、骨骼、移植物、生物材料、油脂、胶水等。
面向学科
XPS是分析研究固体表面元素成份、元素分布、元素价态和化学态等表面化学特性方面的重要仪器，原则上能分析除H、He以外的所有元素，尤其适用于分析材料表面元素的化学价等，检测灵敏度0.1%～1%原子浓度比。 XPS适于分析固体样品，形状不限，粉末样品也可以分析，但以表面光滑的片状为好，如纳米薄膜材料，催化剂，微电子材料，高分子材料，生物材料，金属材料，半导体材料，无机非金属材料等。原则上样品表面应维持欲分析状态。对表面污染的样品可采取适当措施，予以清洁，安装时应使样品与样品托有良好的电接触，具有放射性、挥发性的样品不宜分析。
样品要求
1) 粉末样品提供10-20mg； 2) 块状/薄膜：长宽厚不超出5*5*3mm。如果样品尺寸大于5*5*3mm，会按尺寸增加费用！超过尺寸提前联系； 3)样品必须干燥，样品制备好以后，尽可能进行真空密封，减少样品吸附空气中的污染物，对于某些元素的测试，会有影响； 4)原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号，元素窄谱测试默认最强轨道，H、He元素不可以测试，放射性元素提前沟通，元素Li-Mg测试1s轨道，Al-Zn测试2p轨道，Hf-Cm测试4f轨道，如有特殊要求请备注； 5)测磁性样品，请送样时提前告知； 6)殊需求：样品含S，F，I等元素单质不能测试或其他特殊需求，请联系项目经理； 7)测试需要样品用导电胶固定在样品台上，所以测过的粉末样品没法回收，块体样品回收可能也受到污染或者破坏，建议尽量不回收样品； 8)特殊处理的样品，联系项目经理具体商议。
收费标准
1) 总谱+分谱（包括C元素3个内）：140元/样； 2) 刻蚀/溅射（≤30nm为一次刻蚀）：60元/次； 3) 变温XPS（可测试温度范围室温-800K）：400元/温度/样品 注：每增加一个元素测试费用加收30元；如无注明测试轨道为默认轨道，每个轨道计为一个关注元素，测价带谱+50元；单独测价带谱100元/样，特殊样品费用另议（特殊形状、尺寸比较大、强磁性样品）
测试仪器
仪器名称 X射线光电子能谱仪
仪器型号 Thermo Scientific ESCALAB 250 XI / ESCALAB 250 / Thermo Scientific K-Alpha+
仪器厂家 美国ThermoFisher Scientific
关 键 字 XPS、X射线光电子能谱分析、XPS刻蚀
仪器功能：
1) 固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度约为1-10nm；
2) 材料中元素的深度分析，角分辨方式，氩离子与氩团簇离子刻蚀方式；
3) 可进行样品的原位处理，如原位加热、冷却、断裂。
仪器附件：离子散射谱（ISS），反射电子能量损失谱（REELS），单色化XPS（Al靶），双阳极（Mg/Al靶）， 氩离子团簇离子枪，加热/冷却台，样品断裂台。
仪器参数
1) 成像分辨率小于3 µm； 2) 极限能量分辨率为0.43eV； 3) 分析室真空度优于5×10-10 mbar； 4) 能量分析范围为0-5000eV； 5) 通过能范围为1-400eV。
测试条件及要求
1) 室温测试还是变温测试，变温测试请提供需要的温度； 2) 样品元素组成； 3) 需要测试的元素及轨道；